X射线显微镜

X射线显微镜是显微镜的总称，其中观察到X射线作为探针。

由于使用具有比可见光短的波长的X射线，因此有可能获得具有高空间分辨率的图像，并且对此已经引起注意。观察方法包括成像类型和扫描类型，以及取决于观察手段的X射线吸收，相变和荧光X射线的使用。由于需要强光源，因此主要是使用同步加速器辐射开发的。使用的最典型的光学元件是波带片。当前的xxx分辨率为15 nm。

• 材料研究
• 生物学
• 半导体行业

• 木原裕隆，若林克三（Katsuzo Wakabayashi），“ X射线显微镜 ”，《生物物理学》。
• 青木贞夫，“ X射线显微镜 ”，日本精密工程学会学报。
• 矢田敬二，筱原邦男。“ 软X射线显微镜的发展。 ”
• Kihara Hiroshi，“ 同步辐射和医用X射线显微镜。