扫描位移电流显微镜

扫描位移电流显微镜（SDM）是扫描探针显微镜之一。

一种扫描探针显微镜，用于可视化样品表面的形状和电流分布。

在扫描隧道显微镜（STM）的配置中，将探针激励系统和TDM电流信号处理系统添加到STM基本模型中，并且探针以几百Hz至几kHz的频率垂直于样品。检测通过振荡产生的位移电流，并可视化电流分布。探针电流的的偏压样品-样品-而施加电压时，探测由于探头的振动电容发生根据所述变化位移电流（TDM电流）和正常隧道电流的总和测量的xxx值。由于探头振动而波动的电流由两相锁定放大器分离为与探头振动同步的分量（位移电流分量）和与探头振动异相90度的隧道电流分量。因为，在与参考信号到TDM当前同步的正弦波与该检测结果隧道电流可以被检测到，它可以检测位移电流分量，并用于检测余弦波。与STM一样，隧道电流分量用于恒定隧道电流模式，恒定高度模式和恒定位移电流模式的探头位置的反馈信号，位移电流分量也可用作反馈信号。解像度当探针的尖端的曲率半径为几微米时，在水平方向上报告为100 nm，并且随着振动频率的增加，位移电流也成比例地增加。分辨率有望进一步提高。

• 测量表面性质随隧道偏压而变化的样品的物理性质
• 在操作期间测量半导体器件中载流子浓度的分布。
• 导电有机纳米结构表面的电荷密度