纳米机电系统质谱仪
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什么是纳米机电系统质谱仪
纳米机电系统质谱仪（NEMS-MS）是一种仪器通过检测由在所述颗粒的吸附的频移测量分析物颗粒的质量NEMS谐振器。
NEMS-MS是由加利福尼亚理工学院的Michael Roukes教授和Kamil Ekinci博士于1999年发明的。 在2001年的专利公开中首次记录了原子序图尺度质量敏感性。
加州理工学院的研究人员报道了连续的NEMS-MS灵敏度里程碑，这些出版物分别于2004年（折线图标度灵敏度）和2006年（折线图标度灵敏度）出现。 他们随后在2009年开发了单分子分析。该小组于2012年首次完成了单生物分子质量测量。2015年报告了一种混合NEMS-MS / TOF-MS仪器
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