真空法兰

真空法兰是管端的法兰，用于将真空室、管道和真空泵相互连接。真空法兰用于科学和工业应用，以允许各种设备通过物理连接进行交互，以及从真空室外部进行真空维护、监控和操作。存在几种法兰标准，它们在最终可达到的压力、尺寸和易于连接方面存在差异。

存在几种真空法兰标准，相同的法兰类型被不同的制造商和标准组织称为不同的名称。

为了实现真空密封，需要使用垫圈。弹性O形密封圈可由丁腈橡胶、氟橡胶、硅橡胶或聚四氟乙烯制成。O形圈可以放置在凹槽中，也可以与定心环结合使用，或作为由单独的金属环固定在适当位置的捕获O形圈。金属垫片用于超高真空系统，其中弹性体的脱气可能是一个重要的气体负荷。铜环垫片与对平法兰一起使用。可以使用由铜、金或铟制成的金属丝垫片。

真空馈通是一个法兰，它包含与真空室的真空密封电气、物理或机械连接。电馈通允许将电压施加到真空下的组件，例如灯丝或加热器。物理馈通的一个示例是用于冷却水的真空密封连接。机械馈通用于在真空下旋转和平移组件。摇杆是一种机械馈通装置，可用于拾取、移动和以其他方式操纵真空室中的物体。