化学气相沉积-一流百科

化学气相沉积

化学气相沉积化学气相沉积 (CVD) 是一种真空沉积方法，用于生产高质量、高性能的固体材料。该工艺常用于半导体工业生产薄膜。在典型的 CVD 中，晶片（基板）...

词条百科