纳机电系统-一流百科

纳机电系统

简介纳机电网 (NEMS) 是一类在纳米尺度上集成电气和机械功能的设备。NEMS 构成了所谓的微机电系统或 MEMS 设备的下一个合乎逻辑的小型化步骤。NEMS 通常将类...

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