纳米机电系统-一流百科

纳米机电系统

纳米机电系统纳米机电系统（NEMS）是一类在纳米级集成了电气和机械功能的设备。纳米机电系统由所谓的微机电系统或纳米机电系统器件构成了下一步的逻辑小型化...