深层瞬态光谱

深层瞬态光谱深层瞬态光谱法（DLTS）是研究半导体中电活性缺陷（称为电荷载流子陷阱）的实验工具。深层瞬态光谱建立基本的缺陷参数并测量其在材料中的浓度。...