梳状驱动器-一流百科

梳状驱动器

梳状驱动器梳状驱动器是微机电致动器，通常用作线性致动器，它利用作用在两个导电梳之间的静电力。梳状驱动致动器通常在微米或纳米尺度上运行，并且通常通过...