梳状致动-一流百科

梳状致动

梳状致动梳状驱动器是微机电致动器，通常用作线性致动器，它利用作用在两个导电梳之间的静电力。光束致动致动器通常在微米或纳米尺度上运行，通常通过体微加...

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