原子层沉积-一流百科

原子层沉积

简介原子层沉积 (ALD) 是一种基于连续使用气相化学过程的薄膜沉积技术；它是化学气相沉积的一个子类。大多数 ALD 反应使用两种称为前体（也称为反应物）的...

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