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固体浸没透镜(SIL)是一种通过向样品中填充高折射率介质来实现比普通透镜更高的放大倍率和更高的数值孔径的透镜。SIL最初是为了提高光学显微镜的空间分辨率而开发的。
像浸没式光刻法一样,使用固体浸没效应可以改善光刻图案的空间分辨率。在晶片上形成半导体微元件时使用。
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