扫描扩展电阻显微镜
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扫描扩展电阻显微镜
它通过应用接触原子力显微镜（CAFM）的原理可视化样品表面的形状和局部电阻分布。
基于接触式AFM，使用接触式AFM反馈控制来扫描样品表面，以增加悬臂探针的接触压力。通过在探针接触位置的样品表面上测量微小电流，可以测量样品表面上的局部电阻分布，并且根据样品的配置，位于探针正下方的样品内部的电阻值可能接近绝缘体。因此，具有广泛的放大因子的电流检测放大器是必不可少的，并且为了确保探针的尖端与表面之间的接触部分，悬臂可能导致探针依赖于样品而导致样品接触的塑性变形。在某些情况下，可能会施加的强负载。
扫描扩展电阻显微镜应用
- 半导体材料中掺杂剂分布的测量
- 集成电路缺陷分析
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