弹道电子发射显微镜

弹道电子发射显微镜(BEEM)获得由弹道电子的图像扫描隧道显微镜的类型。

由于测量技术的发展,人们已经更好地了解了固体表面的结构和电子状态,但由于非破坏性研究的困难,人们仍不了解直接在表面下的界面。并于1988年由LD。。。

弹道电子发射显微镜

在BEEM中,来自扫描隧道显微镜(STM)探针的隧道电流到达样品表面上的金属层,并且可以通过测量该隧道电流来获得正常的STM图像。另一方面,当金属层的厚度小于金属层中电子的平均自由程长度时,到达金属层的一些电子弹道地穿过金属层到达下半导体集电极层。

弹道电子发射显微镜的应用

  • 金属-半导体界面肖特基势垒的测量及其二维分布测量
  • 金属/半导体界面处势垒的二维分布测量
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