薄膜电阻

薄膜电阻是标称厚度均匀的薄膜电阻的量度。 它通常用于表征由半导体掺杂、金属沉积、电阻浆料印刷和玻璃镀膜制成的材料。 这些工艺的例子有：掺杂的半导体区域（例如，硅或多晶硅），以及丝网印刷到厚膜混合微电路基板上的电阻器。

与电阻或电阻率相反，薄层电阻的用途是使用四端传感测量（也称为四点探针测量）直接测量，或使用基于非接触式涡流的测试设备间接测量 . 薄膜电阻在薄膜接触的缩放下不变，因此可用于比较尺寸明显不同的器件的电气特性。

薄膜电阻适用于薄膜被视为二维实体的二维系统。 当使用薄层电阻这个术语时，意味着电流是沿着薄层的平面，而不是垂直于薄层的。

• ρ {displaystyle rho } 是材料电阻率，
• A {displaystyle A} 是横截面积，
• L {displaystyle L} 是长度。
• 横截面积可以分为宽度 W {displaystyle W} 和板材厚度 t {displaystyle t} 。

结合电阻率和厚度

使用四点探针来避免接触电阻。