表面微加工-一流百科

表面微加工

表面微加工表面微加工通过在基板上沉积和蚀刻结构层来构建微结构。这与块状微加工不同，在块状微加工中，有选择地蚀刻硅衬底晶圆以产生结构。表面微加工的图...