衬底

SOS (半导体)SOS（半导体）(SOS) 是一种用于金属氧化物半导体 (MOS) 集成电路 (IC) 制造的异质外延工艺，由生长在蓝宝石 (Al2O3) 上的硅薄层（通常小于 0.6 µ...

闸极介电层栅极电介质是用于场效应晶体管（例如 MOSFET）的栅极和衬底之间的电介质。 在最先进的工艺中，栅极电介质受到许多限制，包括：与基板的电气清洁界...

表面微加工表面微加工通过在基板上沉积和蚀刻结构层来构建微结构。这与块状微加工不同，在块状微加工中，有选择地蚀刻硅衬底晶圆以产生结构。表面微加工的图...