闸极介电层-一流百科

闸极介电层

闸极介电层栅极电介质是用于场效应晶体管（例如 MOSFET）的栅极和衬底之间的电介质。在最先进的工艺中，栅极电介质受到许多限制，包括：与基板的电气清洁界...