电子束诱导沉积-一流百科

电子束诱导沉积

简介电子束诱导沉积（EBID）是一个通过电子束分解气体分子的过程，导致非挥发性碎片沉积到附近的基底上。电子束通常由扫描电子显微镜提供，这导致了高空间精...

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