化学机械平坦化-一流百科

化学机械平坦化

化学机械平坦化化学机械抛光 (CMP) 或平面化是结合化学力和机械力使表面光滑的过程。它可以被认为是化学蚀刻和自由研磨抛光的混合体。描述该工艺使用磨蚀性...

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