极紫外光刻-一流百科

极紫外光刻

极紫外光刻极紫外光刻技术（简称：EUV光刻或EUVL）是一种下一代光刻技术，可以用波长为13.5 nm的极紫外光进行曝光。极紫外在不久的将来2020到英特尔，三星为7...