毫米波近场显微镜

毫米波近场显微镜毫米波通过获得的图像的显微镜

毫米波可见光多比波长为(大约5毫米)长,完整分辨率不能提高。因此,通过将扫描近场光学显微镜的概念扩展到毫米波段来提高分辨率。

毫米波近场显微镜

通过用狭缝型金属波导体局部地挤压毫米波的照射位置,并且通过在旋转台上旋转样本以进行机械扫描,来照射紧密聚焦的样本的微小区域,从而照射毫米波束扫描。由于探针缝隙宽度为λ/ 60,但长度约为波长,因此使用普通扫描探针显微镜进行xy扫描不会提高空间分辨率,因此,通过计算机断层摄影获得的按角度的信号使用与以下相同的方法重建和成像 据报道,其空间分辨率为83μm,与狭缝开口宽度大致相同

毫米波近场显微镜应用

  • 材料分析
  • 生物观察
  • 无损检查
  • 电介质和半导体基板的特性
  • 半导体中的自由载流子分布。

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