纳米压印光刻-一流百科

纳米压印光刻

纳米压印光刻纳米压印光刻技术是目前正在开发的一种用于半导体的精细图案转移技术。常规的图案创建缩小投影曝光装置（步进器）已被使用，小型化由于，极紫外...